Những bộ gia nhiệt hộp mực này được thiết kế đặc biệt để sử dụng trong thiết bị xử lý tấm bán dẫn, nơi chúng phải hoạt động liên tục ở nhiệt độ lên tới 600 độ trong môi trường phòng sạch. Khách hàng Nhật Bản, một công ty lớn trong ngành thiết bị sản xuất chất bán dẫn, yêu cầu máy sưởi có độ ổn định nhiệt đặc biệt và đặc tính thoát khí cực thấp để duy trì các điều kiện cực kỳ sạch cần thiết cho quá trình chế tạo chip. Nhóm kỹ thuật của chúng tôi đã phát triển một thiết kế tùy chỉnh có vật liệu vỏ bằng thép không gỉ 310S, được chọn nhờ khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ-cao vượt trội và lớp cách nhiệt ôxit magiê-chuyên dụng có hàm lượng khí thải thấp.
Việc sản xuất các máy sưởi nhiệt độ cao-này bao gồm một số quy trình chuyên biệt. Dây điện trở được làm bằng hợp kim nhôm-sắt{3}}crom-có độ tinh khiết cao, được quấn với khả năng kiểm soát bước chính xác để đảm bảo sinh nhiệt đồng đều dọc theo toàn bộ chiều dài được gia nhiệt. Cụm vết thương được lắp vào các ống thép không gỉ 310S, trải qua quá trình đánh bóng bên trong đặc biệt để loại bỏ mọi chất gây ô nhiễm bề mặt có thể góp phần thoát khí. Quá trình nạp MgO diễn ra trong môi trường có độ ẩm được kiểm soát để ngăn chặn sự hấp thụ độ ẩm, điều này có thể dẫn đến thoát khí khi vận hành ở nhiệt độ-cao. Sau khi đổ đầy, các ống được ép để đạt được mật độ nén cần thiết, sau đó trải qua quy trình ủ ở nhiệt độ cao trong lò chân không để loại bỏ độ ẩm còn sót lại và ổn định cấu trúc bên trong.
